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REM-EDX Analyse
korrelative Mikroskopie, Filterpräparation, Die 3 Betriebsarten, Spektren und Materialdatenbank

JOMESA PSE: Elementanalyse mit REM-EDX



Die drei Betriebsarten JOMESA PSE:

1. Manueller Modus:
Das JOMESA PSE System benutzt die optischen Ergebnisse vom JOMESA HFD um die "interessanten" Partikel anzufahren und mittels REM und EDX zu analysieren.










2. Korrelativer größenabhängiger Modus:

In dieser Betriebsart benutzt das JOMESA PSE die Ergebnisse der optischen Analyse (JOMESA HFD) um von allen Partikeln (größenabhängig) das EDX Spektrum zu bestimmen. Beispielsweise kann eingestellt werden, für alle metallischen Partikel größer 400µm EDX Analysen zu machen.

Das Ergebniss wird in einer zweidimensionalen Material-Größen Tabelle ausgegeben:






3. REM Filteranalyse Modus

In dieser Betriebsart werden selektive Filterbereiche (oder der gesammte Filter) mit der hochpräzisen Piezo-Verfahrung gescannt und mit dem BSE Detektor die Bilder aufgenommen.
Anorganische Partikel erscheinen hell gegenüber dem organischem Filterhintergrund.




Mittels Bildanalyse werden die Partikel hinsichtlich Größe bestimmt und von jedem Partikel ein EDX Spektrum aufgenommen.



Nach der Analyse werden die Partikel nach Größe und Materialart sortiert.
Die zweidimensionale Ausgabetabelle kann sowohl hinsichtlich Ausgabegrößen als auch hinsichtlich Materialart konfiguriert werden.