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REM-EDX
Analyse
Optische und REM-EDX Analyse, Der Meßablauf, Spektrum und Legierungen

JOMESA PSE: Der Meßablauf








Filterhalter im optischen Mikroskop (JOMESA HFD)

Filterhalter in der Piezo-Verfahrung im REM-EDX

Filterhalter in "Warteposition" mit Schutzglas

Die Übergabe des Filters vom optischen Mikroskop in das REM-EDX erfolgt in einem speziellem Filterhalter.

In diesem Filterhalter wird der Filter durch einen Haltering fixiert. Danach wird ein Ring unterhalb des Filters hochgeschoben und der Filter gespannt. Dies ist ähnlich wie der Spannmechanismus einer Trommel..

Der nun plane Filter wird auf das optische Mikroskop plaziert und optisch analysisert. Dies dauert nur einige Minuten.
Danach werden Partikel zur weiterführenden Analyse im REM-EDX markiert.

Das Ergebnis wird in einer Datenbank abgespeichert.

Nach der optischen Analyse wird der Filterhalter in die Piezo-Verfahrung des REM-EDX plaziert.
Die Software öffnet den Datensatz (der nach der optischen Analyse geschrieben wurde) und fährt den Filterhalter an die Position um das erste der markierten Partikel zu analysieren.

Das optische Partikelbild und das REM Bild werden simultan dargestellt.

Während der Wartezeiten (nach Filterpräparation, nach der optischen Analyse) wird eine Glasabdeckung über den Filterhalter gestülpt. Diese verhindert, dass Partikel auf den Filter fallen.



Anzahl und Größe der vom REM-EDX zu analysierenden Partikel sind nicht begrenzt. Das Spektrum von jedem analysiertem Partikel wird in Rohform (zur eventuellen späteren Wiederauswertung) gespeichert.












Diese Spektrum führt zu Bariumsulfat