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JOMESAフィルター解析システム用付属品
フィルターホルダー、認証済み粒子標準

JOMESAフィルター解析:メンブレンフィルター及びパーティクルトラップ用ホルダー


標準メンブレンフィルター用フィルターホルダー(直径50mmまで)


ガラスカバーで覆われたメンブレンフィルター


メンブレンフィルターを簡単かつ素早く固定するツールです。


フィルター乾燥させた後、表面が平らではなくなってしまいます。しかし、どの顕微鏡システムにも被写界深度に限界があります。HFD(高焦点深度)でさえもミリメートル(mm)レベルの高さの変化に対応することできません。
弊社の標準フィルターホルダーは、ラスカバーフィルターを上から押さえつけて平らにするとともに、測定中にフィルターが滑って動かないようにします。
ラスカバーを取り外した際、フィルター表面にあった粒子がガラス面に付着します。したがって、フィルター表面の粒子含有量が変わってしまうので、このフィルターを再び測定することはできません



ドラムストレッチ フィルターホルダー

このタイプのフィルターホルダーは、特殊な機構によりホルダー上のフィルターを滑って動かないよう固定するとともにドラムヘッドのように張り伸ばして平らにします

フィルター表面とガラスカバーは接触しないため、同じフィルターを他の検査装置で再度使用ることが可能です。( SEM-EDX)


ドラムストレッチ(HFD用)



フィルター連続測定用ドラムストレッチ(HFD用)



ドラムストレッチ(MAT3



4フィルター連続測定用ドラムストレッチ(MAT3用)




パーティクルトラップ用ホルダー


パーティクルトラップ(製造)環境の清浄度を測定するために使用されます。
一般的に、その表面粘着性があり、未使用時(納品時)は保護用フィルムや紙で覆われています。使用する際はこのカバーを剥がし、その瞬間から表面に落下してくるあらゆる粒子が捕集されます。規定の露出時間が経過したに、保護用プラスチックカバーで再び覆います
その後、パーティクルトラップ用ホルダに設置し、弊社HFDシステムで解析します
ペトリ皿上のメンブレンフィルターは測定中に滑って動いてしまうため、この測定方法は利用できません。



ペトリ皿上のパーティクルトラップ(露出前)



規定露出時間経過後、保護カバーをします



弊社HFDシステムの専用ホルダーに設置したパーティクルトラップ (測定中、保護カバーは取り外します)




大きいサイズのメンブレンフィルター用ホルダー


φ90mmフィルターまで対応のホルダー