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元素分析のための清浄度分析装置拡張仕様:
SEM-EDS分析の要旨、測定手順、スペクトルと定量

JOMESA PSE: 測定手順








JOMESA HFDに設置したフィルターホルダー

JOMESA PSEピエゾスキャニングステ設置したフィルターホルダー

ガラスカバーで保護された待機時のフィルターホルダー


あるフィルターをJOMESA HFD(光学顕微鏡)JOMESA PSE(SEM-EDS)の両方で測定する場合、専用のフィルターホルダーを使用します。


このフィルターホルダーは、クランプリングでフィルターを固定します。その後、ストレッチリングがフィルターを下から押し上げると共に表面を張り伸ばします。(ドラム打面の張り伸ばしと類似の機構です) 

表面が平らになったフィルターをJOMESA HFDに設置して光学測定を行います。その後、SEM-EDS分析を行う粒子を指定します。


測定結果をデータベースに保存します。



光学測定の後、JOMESA PSEにフィルターホルダーを設置します。


ソフトウェアが光学測定の記録データを読み込み、指定を行った最初の粒子位置へホルダーを移動させます。


粒子の光学顕微画像とSEMライブ画像が同時に表示されます。




ホルダーに設置後のフィルターを測定準備等の事由で放置する場合、ガラスカバーを上から被せる事で周囲環境からの異物混入を防ぎます。





SEM-EDSで分析する粒子に数やサイズの制限はありません。分析を行った各粒子のスペクトルは生データとして保存されます。(後の再評価を可能にするため)












スペクトルは硫酸バリウムを示しています。