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元素分析のための清浄度分析装置拡張仕様:
SEM-EDS分析の要旨、測定手順スペクトルと定量

JOMESA PSE: SEM-EDSによる成分分析




JOMESA HFD (High Focal Depth)



フィルターの光学測定(JOMESA HFD)では、自動スキャン、粒子の計数と仕分け、危険性が懸念される粒子の確認が迅速に行えます。

走査型電子顕微鏡(SEM)では物質表面の形質情報から、光学顕微鏡よりも詳細な画像を取得できます。


粒子の位置座標が自動転送されるため、目的の粒子を迅速に確認できます。

エネルギー分散型X線分析(EDS)により、元素の種類や組成を明らかにできます。



JOMESA PSE (Precision Scan for Elements)


最大の金属粒子(光学顕微鏡)


最大の非金属粒子(光学顕微鏡)


最大の金属粒子(SEM


最大の非金属粒子(SEM