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입자 분석을 위한 최상의 청정도 분석 시스템 :
입자 분석을 위한 동기 , 측정 프로세스 , 스펙트라 와 합금 특성

JOMESA PSE: 측정 프로세스








JOMESA HFD현미경에 설치된 필터 홀더

JOMESA PSE 피에조 스켄장치에 설치한 필터 홀더

"정지" 상태의 필터홀더 와 탈 부착 글라스 커버

동일한 필터를 광학 현미경 인 JOMESA HFD ,과 전자 현미경 인 JOMESA PSE, 로 측정한다 . SEM-EDS 는 특별 디자인된 필터홀더 를 사용한다.

홀더 상의 필터는 클램프 링으로 고정하고 측면에 부착된 손잡이를 밀어서 멤브레인 필터를 편다 -필터를 상하로 움직여 텐션 을 잡는 원리 임.
필터가 설치된 필터홀더를 JOMESA HFD 에 적용하여 자동으로 분석하고 시간은 수분 소요됨 .파티클은 금속 . 비금속 , 섬유로 자동 카운터 됨

분석과정 에 선정한 파티클 은 SEM-EDS 를 이용하여 성분 분석하고 그 결과 데이터 셋 은 데이터 베이스에 저장 된다 .

광학 분석한 필터 홀더 는 JOMESA PSE 에 장착 한다.
HFD
데이터 셋은 열려있고 필터 홀더는 자동으로 포지션 되어 있어서 바로 원하는 파티클 을 찾을 수 있습니다.

정한 파티클의 HFD 이미지 와 SEM 의 라이브 이미지는 화면상 동시에 디스플레이 됩니다.

분석중이지 않을때는 , 필터홀더를 탈부착 글라스 커버를 끼워 외부 오염으로 부터 필터를 보호한다.



SEM-EDS 으로 분석한 파티클의 숫자난 크기는 제한이 없으며.각각 분석한 파티클의 스펙트럼은

추후 재 분석을 위해 “ 원본 “ 으로 저장된다 .












바륨 황산염 으로 확인된 스펙트럼